| 摘要 |
本发明描述了用于抑制在一真空交换腔室(load lock chamber)中压力快速下降期间所形成之可导致位于该腔室内之一基板上形成微粒沉积之Wilson Cloud Effect(威尔逊云效应)的两种技术。在第一种技术中，藉由使用一种乾燥惰性气体来替换大气，藉以降低该真空交换腔室内气体之相对湿度。将此气体保持于该系统内且在抽汲循环之间再循环以降低成本。在第二种技术中，在抽空(pump down)期间监视该真空交换腔室内该排出气体之温度及压力，藉以最大化抽空速度，同时抑制该Wilson Cloud Effect。 |
