用于动态量之电容性感测器

摘要

揭示一用以根据电容上的改变来测量动态量之电容性感测器：具有砝码5之半导体基板2，该砝码5系藉由横梁4来予以支承，且依据动态量而偏移；及玻璃基板1,3，配置在面对砝码而具有离砝码5一段微小间隙6,7之位置处的固定电极11和接触一部分半导体基板之基板电极12被层叠于其上，其中，具有尺寸大小等于或大于接触区域之凹部被形成在半导体基板2内之半导体基板2接触基板电极12的区域中。