一种用于操作一顺列涂层设备的方法

摘要

本发明系关于一种用于操作顺列涂层设备之方法，此设备包括2n＋1室(此处n是一个整数且特别是2这个整数)。因此，可开启和关闭至少在此设备的2×2室间之每一个门，亦可能使用相同设备来涂覆过大尺寸之基板。与标准操作比较，开启和关闭各门需要改变压力过程。