分析侧壁间隔层之光散射测量法

摘要

一种分析一基材上之侧壁间隔层结构性质的方法，系先提供一具有复数个格栅靶之格栅板，并将此格栅板进行光散射测量以得一理论散射光谱。接着，进行侧壁间隔层之光散射测量以得一实验散射光谱。当理论散射光谱实质上同于实验散射光谱时，即可对应格栅靶的结构性质至侧壁间隔层的结构性质。