照明光学系统与具有该系统的曝光设备

摘要

一种照明光学系统，用以使用来自一光源的光照明一物体表面，该照明光学系统包括：第一光学系统，其包括一可沿一光学轴移动的可移动单元，该第一光学系统引导光至物体表面和改变在一特定平面上的照射区；和第二光学系统，其可设置在第一光学系统的光径上且可从第一光学系统的光径移开，其中当第二光学系统位在第一光学系统的光径上时，第二光学系统改变在该特定平面上的照射区以配合该第一光学系统，且相对于只由第一光学系统所照射的照射区，保持光强度分布的形状在该特定平面上。