气阀总成及使用该气阀总成之装置

摘要

本发明提供一种用于沈积装置的气阀总成，其包括：一其中包括多个气体供应通道的驱动轴杆；一围绕驱动轴杆并且其中包括多个通孔的外壳；在驱动轴杆及外壳之间的多个磁性密封对，该磁性密封对包括磁性流体；及一在轴杆与外壳之间的防漏构件，该防漏构件防止磁性流体泄漏。