发明名称 | 半导体制程及良率分析整合即时管理方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种半导体制程及良率分析整合即时管理方法。其包含有在半导体制程中以复数个项目检测复数个半导体产品,以产生及纪录复数个检测结果,并以一预设规则将半导体产品分成复数个种类,产生一初始资料以纪录于一资料库中,依一预设产品规则及参数来索引复数个半导体产品种类及资料库中相关之初始资料,以计算一相关分析结果,并依照索引之半导体产品种类及初始资料来显示分析结果。 | ||
申请公布号 | TW200529034 | 申请公布日期 | 2005.09.01 |
申请号 | TW093119166 | 申请日期 | 2004.06.29 |
申请人 | 力晶半导体股份有限公司 | 发明人 | 戴鸿恩;陈建中;王胜仁 |
分类号 | G06F17/60;H01L21/00 | 主分类号 | G06F17/60 |
代理机构 | 代理人 | 许锺迪 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市科学工业园区力行一路12号 |