| 摘要 |
本发明系旨在：提供一种在图案化依次叠层第一金属导电膜、蚀刻速度较该第一金属导电膜为慢之第二金属导电膜的叠层导电膜而形成反射电极之际，能够抑制由于第二金属导电膜端部剥落导致良率下降之液晶显示装置之制造方法。具有在基板上复数像素布置成矩阵状，给每个像素配置了反射电极6之主动矩阵基板之液晶显示装置之制造方法，包括：依次在基板上形成金属导电膜6a’与非晶质透明导电膜6b’而形成叠层导电膜6’之叠层导电膜形成工序；与将该叠层导电膜6’图案化，形成反射电极6之反射电极形成工序。该反射电极形成工序，包括：同时蚀刻金属导电膜6a’与非晶质透明导电膜6b’之第一蚀刻工序与仅蚀刻非晶质透明导电膜6b’之第二蚀刻工序。 |
