发明名称 压模制造方法
摘要 一种压模制造方法,其包括以下步骤:提供一基板;于该基板之一面涂布一均匀光阻层;利用一具预定图案之光罩对该光阻层进行曝光显影步骤;进行蚀刻;去除剩余光阻,形成压模。
申请公布号 TW200529371 申请公布日期 2005.09.01
申请号 TW093104231 申请日期 2004.02.20
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 陈杰良;余泰成;吕昌岳
分类号 H01L21/786;G03F7/16 主分类号 H01L21/786
代理机构 代理人
主权项
地址 台北县土城市自由街2号
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