发明名称 | 压模制造方法 | ||
摘要 | 一种压模制造方法,其包括以下步骤:提供一基板;于该基板之一面涂布一均匀光阻层;利用一具预定图案之光罩对该光阻层进行曝光显影步骤;进行蚀刻;去除剩余光阻,形成压模。 | ||
申请公布号 | TW200529371 | 申请公布日期 | 2005.09.01 |
申请号 | TW093104231 | 申请日期 | 2004.02.20 |
申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 陈杰良;余泰成;吕昌岳 |
分类号 | H01L21/786;G03F7/16 | 主分类号 | H01L21/786 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 台北县土城市自由街2号 |