形成光学影像之方法实施此种方法之装置及利用此种方法制造一装置之制程

摘要

本发明系揭示一种藉由数个次照明而在一光阻层(5)中形成一光学影像，在各次照明中根据一次影像而使用一光阀(21–25)阵列及一对应之光收敛元件阵列(40)，以便在该光阻层中形成一点图案。在该等次照明之间，光阻层(5)相对于阵列(21–25，40)而被移动。测量光阻层(5)中光学影像之比例且将该比例与所需写入之影像比例相比较。若有差异，则将实体地改变光收敛元件(43)间之间距以调整该基板比例。