有机电激发光面板之制造方法、有机电激发光面板之制造装置、及有机电激发光面板

摘要

本发明系一种有机电激发光面板之制造方法、有机电激发光面板之制造装置、及有机电激发光面板，其课题为提供可形成高精细之电激发光层之情况，另外蒸镀光罩与被蒸镀基板之拆装容易之有机EL面板之制造方法，为了实施此制造方法之简便构成之有机EL面板之制造装置及，由此制造装置所制造之有机EL面板，其解决手段系为根据采用蒸镀光罩3之蒸镀来形成由复数层而成之电激发光层的一部分或全部之有机EL面板之制造方法，其中在蒸镀时，将蒸镀光罩3配置在被蒸镀基板(玻璃基板4)之规定位置，并由力学方式按压被蒸镀基板，然后使蒸镀光罩3与被蒸镀基板密着之构成。