介电元件,压电元件,喷墨头以及其制造方法

摘要

本发明提供一在一共同基板上优先导向或单轴导向之晶体结构介电层。本发明即便在一普通的基板上方可以薄膜制程制作出所欲品质之介电元件，而此介电元件系依序设有一下电极层、介电层与一上电极层，其中各层均为优先导向或是单轴导向，并透过pseudo–Voigt函数的决定而具有特定之半频宽。