离子植入方法及装置

摘要

一种离子植入方法包括藉电场或磁场于X方向，往复式扫描离子束，以及于正交于X方向之Y方向，以机械方式往复式驱动一基体，以植入离子于基体之全体表面上。经由于离子束入射基体之一区，改变离子束扫描速度与基体驱动速度中之至少一者，可于该基体平面之中形成于基体平面非均匀之剂量分布。