发明名称 光应用装置、结晶化装置及光学调变元件组合
摘要 一种光应用装置包含一具备复数个相位段差(phase steps)的光学调变元件(1),一进入该光学调变元件内的光束,其中该等相位段差相位所调变且从该光学调变元件离开成为一具有一第一光线强度分布的光束。一光学系统(2、4)被设置在该光学调变元件与一预定平面(5)之间。该光学系统将该已相位调变光束分离成至少二光线通量,该等光线通量具有第二和第三光线强度分布及相互不同的光学特性,且该光学系统投射出一包含该二已分离光线通量的光束,该等投射光线通量的光线强度分布被相互结合,致使该投射光束在该预定平面上有一具备一反峰形状的第四光线强度分布且进入该预定平面。在该预定平面上该第一至第四光线强度分布系互不相同。
申请公布号 TW200528756 申请公布日期 2005.09.01
申请号 TW094101702 申请日期 2005.01.20
申请人 液晶先端技术开发中心股份有限公司 发明人 谷口幸夫;松村正清
分类号 G02B27/00;H01L21/477 主分类号 G02B27/00
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 日本
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