电流扫描器之控制方法、电流扫描器及雷射加工机

摘要

为提供不拘摆动角度而能以高速定位反射镜的电流扫描器之控制方法、电流扫描器、及使用此种电流扫描器照射雷射来进行印刷电路基板之钻孔的雷射加工机。为了要依据指令信号215与现在位置242之偏差而使用以摆动反射镜之致动器110动作，先计测对应摆动角度之致动器110之增益变化，以消除增益变化之方式，来修正致动器110之操作量。藉此，因能抑制对应摆动角度之转矩常数之变动影响，故在扫描区域全体使响应特性成为一样，而能使定位速度提高。