无尘室用的自动仓库

摘要

本发明的构造为：是从FFU(12)经由导管(14)将洁净空气供给到台架(10)的无尘室用的自动仓库，每个FFU(12)，是设置有复数的吹出口。而吹出口，是设置在自动仓库的支柱的附近。本发明的效果为：能够防止：来自于吹出口的气流流动于横方向而互相冲突，吹出口与吹出口之间的静压力增加，而从台架逆流向导管这样的情形。在支柱的附近虽然会产生从台架逆流向导管的情形，而能够以支柱来妨碍逆流情形。