溅镀靶、光资讯记录媒体及其制造方法

摘要

一种溅镀靶，其特征为，系于In2O3–ZnO–SnO2系复合氧化物(以SnO2为主成分)中添加选自Ta、Y之任1种或2种元素之氧化物之材料所构成。系有关于光资讯记录媒体用薄膜(特别是作为保护膜)及其制造方法以及可适用于该等之溅镀靶者，该溅镀膜之非晶质性安定、成膜速度快、与记录层之密合性及机械特性优异、且透过率高，而由于系以非硫化物系构成，故邻接之反射层、记录层不易产生劣化。藉此，可提升光资讯记录媒体之特性以及大幅改善生产性。