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发明名称
具有线之基材支持件及使用其之装置
摘要
一种装置,其包括:一用于处理一基材之处理腔、一处于该处理腔中之基座、一处于该基座上方之支撑框架及至少一条连接至该支撑框架之线。
申请公布号
TW200528827
申请公布日期
2005.09.01
申请号
TW094101720
申请日期
2005.01.20
申请人
周星工程股份有限公司
发明人
黄周;李相道
分类号
G02F1/133;H01L21/00
主分类号
G02F1/133
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
韩国
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