电化学机械研磨之研磨垫

摘要

本发明提供一种导体基板之电化学机械研磨的研磨垫。该研磨垫包括形成于该研磨垫之研磨表面中的复数条沟槽，该手沟槽会被调适成帮助研磨流体在该研磨垫上方流动。等体层会个别形成于该等沟槽中，并且互相进行电通信。