发明名称 Multi depth substrate fabrication processes
摘要
申请公布号 AU2001259355(B2) 申请公布日期 2005.09.01
申请号 AU20010259355 申请日期 2001.05.01
申请人 CALIPER LIFE SCIENCES, INC. 发明人 RICHARD J. MCREYNOLDS
分类号 B81C1/00;G03F7/20;G03F7/40;(IPC1-7):G03F007/26 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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