Concentrate of fine cerium oxide particles for chemical mechanical polishing and preparing method thereof,申请号KR20030032574-传众专利搜索

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发明名称	Concentrate of fine cerium oxide particles for chemical mechanical polishing and preparing method thereof
摘要
申请公布号	KR100511943(B1)	申请公布日期	2005.09.01
申请号	KR20030032574	申请日期	2003.05.22
申请人		发明人
分类号	C09K3/14;C01F17/00;C03C19/00;(IPC1-7):C09K3/14	主分类号	C09K3/14
代理机构		代理人
主权项
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