高功率表面声波喷镀金属及制造方法

摘要

一种高功率SAW器件(10)，包括一个放置在压电基质(11)上的电极(16，19)，所述电极包括一种沉积并粘结到基质上的粘结层(30)物质和一个至少一层物质涂覆在粘结层上并通过粘结层牢固粘结到基质上的导电构件(35)。所述导电构件包括铝和一种合金金属，其中合金金属的量为1wt％到能提供有利的折衷的电阻率/机械性能的百分数。合金金属选自周期表第IV和VI栏之一的元素，如钛、钼、铬和钨。

主权项

1.一种高功率表面声波器件，其包括：具有表面的压电基质；和放置于基质表面上的表面声波电极，该电极包括一种沉积于所述表面并且与该表面粘结在一起的由选自周期表第IV和VI栏之一中的元素的金属组成的粘结层和一个至少一层物质涂覆在粘结层上并通过粘结层牢固粘结到所述表面上的导电构件，所述导电构件包括铝和一种合金金属，合金金属的量为1wt％到25wt％。