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发明名称
摘要
申请公布号 JP3688725(B2) 申请公布日期 2005.08.31
申请号 JP19930164502 申请日期 1993.07.02
申请人 发明人
分类号 C23C14/30;C23C14/00;C23C14/54;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
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