改进的用于静电晶片夹紧装置的压盘

摘要

本发明揭示了一种用于静电的晶片夹紧装置(10)中的压盘(12)，其包括一介电材料的压盘体(12)和扩散在介电材料内的导电材料的颗粒，以使压盘(12)因导电颗粒的扩散而具有相当大的静电电容。这导致不管周围湿度如何，压盘(12)具有一增加了的夹紧力。根据本发明的另一方面，压盘体(12)的厚度可减小一定量，以致在从电压源(28)施加的电压降低的情形下足以保持一恒定的夹紧力，以便消除压盘上任何的残余电压并提高晶片(38)释放的速度。

主权项

1.一种用于静电的晶片夹紧装置中的压盘包括：a)一介电材料的压盘体；以及b)扩散在介电材料内的导电材料的颗粒，其含量为压盘体的体积的约2.5％至15.0％。