非线性元件及其制造方法和液晶显示装置

摘要

在包括Ta电极层(16)、阳极氧化膜(18)和Cr电极层(20)的MIM型非线性元件(50)的制造方法中，首先在透明基片(12)上设有氧化钽膜(14)，在其上设有Ta电极层(16)、在其上设有阳极氧化膜(18)。之后进行热处理。热处理的最终降温工序是在含有水蒸汽的气氛中进行。之后，形成设有Cr电极层(20)的MIM型非浅性元件(50)。通过在含有水蒸汽的气氛中进行热处理，能够提高MIM型非线性元件的非线性特性，也能够提高断开时的电阻值特性。

主权项

1.一种包括第一导电层、氧化膜和第二导电层的MIM型非线性元件的制造方法，其特征在于，包括：在基片上形成上述第一导电层的工序；在上述第一导电层上形成上述氧化膜的工序；对形成上述第一导电层和上述氧化膜的上述基片在含有水蒸汽的气氛中进行热处理的工序；和之后，在上述氧化膜上形成上述第二导电层的工序，上述第一导电层由以Ta作为主要成分、并从W、Re和Mo构成的组中至少选择添加一种以上的元素来构成。