压电元件及液体喷头及其制造方法

摘要

本发明提供一种压电元件及使用该压电元件的液体喷头以及它们的制造方法，其中所述压电元件可以得到良好的结晶性，并可提高其均匀性，此外，可以防止压电膜的破坏，从而可以得到稳定的位移特性。多次进行形成压电层的工序，从而层积多层压电层，所述多次进行的形成压电层的工序是：通过涂布有机金属化合物的溶胶并干燥该有机金属化合物的溶胶，再使其脱脂，从而使所述金属有机化合物的溶胶凝胶化，进而使所述凝胶化的有机金属化合物结晶，从而形成压电层；其中在形成最下层的压电层时，至少要使第一次脱脂时的升温率为500℃/min以下。

主权项

1.一种压电元件的制造方法，具有在基板上形成下电极的工序、在该下电极上形成压电膜的工序、在该压电膜上形成上电极的工序；其特征在于，所述形成压电膜的工序是：多次进行形成压电层的工序，从而层积多层压电层，所述多次进行的形成压电层的工序是：通过涂布有机金属化合物的溶胶并干燥该有机金属化合物的溶胶，再使其脱脂，从而使所述金属有机化合物的溶胶凝胶化，进而使该凝胶化的有机金属化合物结晶，从而形成压电层；其中，在形成最下层的压电层时，至少要使第一次脱脂时的升温率为500℃/min以下。