| 发明名称 | 用于盘状物的液体处理的装置 | ||
| 摘要 | 建议一种装置，其包含一用于接收盘状物(10)的载体(1)、一用于将液体施加在位于载体(1)上的盘状物(10)上的液体供给装置(17)、以及一液体捕捉环(2)，其被基本上同轴地设置在所述载体(1)的周围，且可围绕所述液体捕捉环(2)的轴旋转。 | ||
| 申请公布号 | CN1663023A | 申请公布日期 | 2005.08.31 |
| 申请号 | CN03814699.1 | 申请日期 | 2003.06.18 |
| 申请人 | SEZ股份公司 | 发明人 | 卡尔－海因茨·霍恩瓦尔特 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 谢志刚 |
| 主权项 | 1.一种使用液体来处理盘状物(10)的装置，其包括：1.1)一载体(1)，用于接收所述盘状物；1.2)一液体供给装置(17)，用于将液体施加至一位于所述载体上的盘状物；以及1.3)一液体捕捉环(2)，其被设置成基本上与所述载体(1)同轴且可围绕所述液体捕捉环的轴旋转，所述液体捕捉环可相对于所述载体移动。 | ||
| 地址 | 奥地利菲拉赫 | ||