用于检测不透明膜层埋覆缺陷的光学技术

摘要

一样品的一局部区域被聚焦加热用以产生暂时的物理变形。当该被加热的区域冷却至一基线(baseline)温度的同时，该结构的表面由时常使用一或多个探测光束来照射该被加热的区域并检测回返光线而来加以光学监视。在某些实施例中，在该结构内随着时间而变化的热消散与光学反射性的间有相互关系。在其它的实施例中，该结构的表面变形与该表面的光线散射变化有相互关连。在施用一抽运脉冲(pump pulse)及不多于三个探测脉冲之后，一随时间改变(time varying)的回返光线讯号被拿来与一来自一参考表面的回返光线讯号相比较。这两个讯号之间的偏差可指出该样品中的一个异常之处。从这些讯号及它们被比较的衰减常数可建构出第一级指数衰减曲线。

主权项

1.一种用来评估一样品的光学设备，其至少包含：光束处理镜片，其用来将一脉冲式的光束分割成一抽运小光束及一探测小光束，该抽运小光束打击在样品上用以暂时地激发该样品，及该探测小光束在该抽运小光束打击到该样品上的后打击到该样品上；一光检测器，其被设置在该探测小光束的回返路径上；一分析器，其接收来自于该检测器的讯号，该讯号为光在该检测器中被检测到的反应，该讯号是用来与从一参考样品获得的对应讯号相比较，其中存在该样品中的异常处是由该讯号与该对应讯号的间的偏差来标示出。