粒子束发生器

摘要

电子源是真空中的纳米尖端，如近场显微镜方法中所使用的。离子源是相似的真空中的纳米尖端，其提供有如液体金属离子源中的液体金属(镓)。通过使尖端位于孔隙极板的中心并且向尖端施加适当的电压，从该纳米尺寸的尖端提取电子或者离子。该电子(离子)通过该极板，并且在使用另外的微米级(或者纳米级)圆柱形透镜聚焦之前，使用纳米级/微米级加速镜筒将该电子(离子)加速至数KeV。最终的元件是像差校正的微型(或者次微型)单透镜，其可以将粒子束聚焦在距离设备末端几毫米的位置处。

主权项

1.一种适用于纳米技术的粒子束发生器，包括：具有提取器孔隙的提取器极板，其置于与粒子源相邻，并且操作用于将粒子从该源提取至提取器孔隙中以形成粒子束；粒子加速装置，其操作用于加速所提取的粒子以增加射束的能量；和校准装置，其操作用于校准粒子束，其特征在于，提取器孔隙和加速装置中的至少一个抑制粒子束的横向扩展，用以提供具有小于100nm直径的近似平行的粒子束。