发明名称 APPARATUS AND METHODS TO PROCESS SUBSTRATE SURFACE FEATURES
摘要
申请公布号 EP1567638(A1) 申请公布日期 2005.08.31
申请号 EP20030768838 申请日期 2003.11.07
申请人 IRM, LLC 发明人 MAINQUIST, JAMES, KEVIN;GEIERSTANGER, BERNHARD, H.;TULLY, DAVID, C.
分类号 B01L3/00;B01L9/00;C12M3/00;(IPC1-7):C12M3/00 主分类号 B01L3/00
代理机构 代理人
主权项
地址