具有光传感器的抛光垫

摘要

一种抛光垫(3)具有不会引起晶片工件过度磨损的光学组件(25)。光学组件(25)设置在垫(3)内，以使其可响应施加到光学组件(25)的力而移动。

主权项

1、一种用于晶片或其它工件的化学机械平坦化的抛光垫，所述抛光垫包括：此抛光垫特征在于具有顶表面、底表面和厚度，所述抛光垫具有一设置在其中的孔，所述孔大体上从顶表面完全延伸至底表面；及设置在孔中的膜盒，所述膜盒装有用于在抛光过程中检测晶片或其它工件的性能的装置；所述膜盒具有大体上与所述抛光垫的顶表面共平面的顶表面、和小于所述抛光垫厚度的厚度。