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发明名称
Etching method for semiconductor device
摘要
申请公布号
EP1511067(A3)
申请公布日期
2005.08.31
申请号
EP20040254850
申请日期
2004.08.12
申请人
MASUOKA, FUJIO;SHARP KABUSHIKI KAISHA
发明人
MASUOKA, FUJIO;HORII, SHINJI;TANIGAMI, TAKUJI;YOKOYAMA, TAKASHI
分类号
H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/425;(IPC1-7):H01J37/32;H01L21/321
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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