发明名称 Etching method for semiconductor device
摘要
申请公布号 EP1511067(A3) 申请公布日期 2005.08.31
申请号 EP20040254850 申请日期 2004.08.12
申请人 MASUOKA, FUJIO;SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 MASUOKA, FUJIO;HORII, SHINJI;TANIGAMI, TAKUJI;YOKOYAMA, TAKASHI
分类号 H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/425;(IPC1-7):H01J37/32;H01L21/321 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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