电子热泵装置及其制造方法和应用该装置的电子机器

摘要

电子热泵装置(100)具备，发射极(101)和集电极(102)、支持这些电极的管座(103、104)、使这些管座间的间隔保持固定的间隔保持部(106)、而且维持管座间真空的密封部件(107)。发射极(101)具有第1半导体衬底(110)和发射极电极(111)。集电极(102)具有第2半导体衬底(120)和集电极电极(121)。发射极电极(111)和集电极电极(121)要配置为使其空出间隙并对置，在第1和第2的半导体衬底的至少一方，整体形成使发射极电极与集电极电极之间的间隙保持一定同时电和热绝缘性的隔层(105)。

主权项

1.一种真空二极管型电子热泵装置，其特征在于，包括第1支持部件；为了能传导电和热，一面连接在该第1支持部件的第1半导体衬底；在该第1半导体衬底的另一面上设置的第1内部电极；第2支持部件；为了能传导电和热，一面连接在该第2支持部件的第2半导体衬底；以及在该第2半导体衬底的另一面上设置的第2内部电极，由所述第1和第2半导体衬底的一方和与该一方半导体衬底对应的内部电极构成发射极，由所述第1和第2半导体衬底的另一方和与该另一方半导体衬底对应的内部电极构成集电极，所述第1内部电极和所述第2内部电极配置成使其与空出间隙对置，并且，在所述第1半导体衬底和所述第2半导体衬底之内的至少一方，保持所述第1内部电极和所述第2内部电极之间的所述间隙固定，同时整体形成电和热绝缘性的1以上的隔层，还具备，配置在所述第1支持部件和所述第2支持部件之间，并保持所述第1支持部件和所述第2支持部件的间隔固定同时电和热绝缘性的间隔保持部件；以及维持所述第1支持部件和所述第2支持部件之间真空的密封部件。