发明名称 POLISHING COMPOUND FOR CHEMIMECHANICAL POLISHING AND METHOD FOR POLISHING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100510977(B1) 申请公布日期 2005.08.31
申请号 KR20027001957 申请日期 2002.02.15
申请人 发明人
分类号 B24B1/00;(IPC1-7):B24B1/00 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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