发明名称 | 用于微型机电装置的热致弯曲致动器 | ||
摘要 | 一种热致弯曲致动器(6),其设置有上支臂(23、25、26)和下支臂(27、28),在横截面中,上支臂和下支臂具有构造成用于在垂直于其纵向的方向上提高抗弯曲性的第二力矩区。支臂(23、25、26、27、28)可以彼此横向间隔开,并且在平面图中彼此不重叠,从而使所有支臂能够通过淀积单独一个支臂形成材料层来形成。 | ||
申请公布号 | CN1660690A | 申请公布日期 | 2005.08.31 |
申请号 | CN200510063942.5 | 申请日期 | 2001.05.02 |
申请人 | 西尔弗布鲁克研究有限公司 | 发明人 | 基亚·西尔弗布鲁克 |
分类号 | B81B3/00;B41J2/045 | 主分类号 | B81B3/00 |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
主权项 | 1.一种用于微型机电装置的热致动器,该致动器包括:a)支撑衬底;b)致动器延伸部分;c)细长的第一支臂,该第一支臂在第一端附着到衬底上,而在第二端附着到延伸部分上,第一支臂可以通过传导加热;d)细长的第二支臂,该第二支臂在第一端附着到衬底上,而在第二端附着到延伸部分上,第二支臂与第一支臂间隔开,在使用中,至少一个第一支臂经历热膨胀,以向延伸部分施力,并且其中,在横截面中,第一支臂或第二支臂具有构造成用于在垂直于其纵向的方向上提高抗弯曲性的第二力矩区。 | ||
地址 | 澳大利亚新南威尔士 |