发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleiteranordnungen aus Silicium od. dgl. durch Anwendung eines chemischen AEtzvorganges an der Stelle des p-n-UEberganges
摘要
申请公布号 DE1040135(B) 申请公布日期 1958.10.02
申请号 DE1956S051047 申请日期 1956.10.27
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 PICHL DIPL.-PHYS. HEINZ;SOKOLOWSKI USCHI-EVA
分类号 C23F1/00;C23F1/24;H01L21/00;H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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