| 发明名称 | 摆动工作台装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于使物体微定位的摆动工作台装置，优选用于使光学物体、如镜元件在投影光学机构的布置中确定地产生振动，该装置包括一个承载所述物体(7，12)的摆动工作台(2，9，15)，该工作台与至少一个驱动元件(5，6，18)处于连接，并且所述装置包括一个摆动工作台外壳(1，8，14)，该外壳与摆动工作台(2，9，15)通过一个弹性连接体(3，10，11，16，17)耦联。按照本发明所述摆动工作台(2，9，15)、摆动工作台外壳(1，8，14)以及弹性连接体(3，10，11，16，17)由一个整体的单元组成。 | ||
| 申请公布号 | CN1661414A | 申请公布日期 | 2005.08.31 |
| 申请号 | CN200510051679.8 | 申请日期 | 2005.02.25 |
| 申请人 | 卡尔蔡斯耶拿有限公司 | 发明人 | I·克勒姆;J·梅斯纳;M·克雷泽尔;M·雅各布;M·罗斯－梅泽默;J·鲁尔夫 |
| 分类号 | G02B26/08 | 主分类号 | G02B26/08 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 苏娟;胡强 |
| 主权项 | 1.用于物体微定位的摆动工作台装置，该工作台优选用于使光学物体、如镜元件在投影光学机构的布置中确定地产生振动，该装置包括一个承载所述物体(7，12)的摆动工作台(2，9，15)，该工作台与至少一个驱动元件(5，6，18)处于连接，并且所述装置包括一个摆动工作台外壳(1，8，14)，该外壳与摆动工作台(2，9，15)通过一个弹性连接体(3，10，11，16，17)耦联，其特征在于，所述摆动工作台(2，9，15)、摆动工作台外壳(1，8，14)以及弹性连接体(3，10，11，16，17)由一个整体的单元组成。 | ||
| 地址 | 联邦德国耶拿 | ||