电子探针微分析仪

摘要

一种电子探针微分析仪，其特征是具有根据分析范围内的测定坐标值形成Z轴坐标值的等值线求出由等值线区分的Z轴补正值的区域的运算功能，根据所述Z轴补正值或者求出经过试料高度分布的中心位置的直线上的高度补正值利用该高度补正值求出以高度分布的中心位置为旋转中心的三维补正值的运算功能，根据从所述三维补正值中得到的Z轴补正值，让试料表面满足分析条件的高度来进行试料Z轴方向的位置控制。

主权项

1、一种电子探针微分析仪，利用通过电子束照射从试料放射出的特性X线进行试料表面的元素分析，其特征是具有求出经过试料高度分布的中心位置的直线上的高度补正值，利用该高度补正值求出以高度分布的中心位置为旋转中心的三维补正值的运算功能，根据从所述三维补正值中得到的Z轴补正值，让试料表面满足分析条件的高度来进行试料Z轴方向的位置控制。