荧光显示管的制造方法及荧光显示管

摘要

本发明公开的荧光显示管的制造方法及荧光显示管，其是高精细的阳极多重矩阵荧光显示管及全彩色阳极多重矩阵荧光显示管。通过使阳极布线及绝缘薄膜化，容易使图形的微细化、积层化。特别是绝缘层在对基板加热的状态下通过CVD法使SiO₂成膜，可以使表面平坦进行积层。还可以将阳极布线和阳极连接部的穿通孔形状作成布线部为短边、阳极部为长边的断面为梯形的锥形，从而使阳极布线和阳极的连接容易。另外，将阳极作成薄膜，通过光刻法、淤浆法等可使微细的荧光粉图形形成容易。

主权项

1、一种荧光显示管的制造方法，在箱形真空管壳内具有：发出热电子的阴极电极；对从上述阴极电极发出的热电子进行加速控制的栅极电极；及具有布线的布线层；在上述布线层上积层的有穿通孔的绝缘层；在上述绝缘层上积层的阳极导体；阳极基板，其是在绝缘性基板上配置有阳极电极，该阳极电极是在上述阳极导体上被覆有从上述阳极电极发出的热电子的冲碰而发光的荧光粉的，其特征在于：在上述阳极基板上形成的绝缘层，在加热到250℃～500℃的上述绝缘性基板上通过化学汽相淀积法成膜。