发明名称 CONTACT PLUG STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050086036(A) 申请公布日期 2005.08.30
申请号 KR20040012361 申请日期 2004.02.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JUNG YOUNG
分类号 H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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