发明名称 INTEGRATION METHOD OF A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A RECESSED GATE ELECTRODE
摘要
申请公布号 KR100511045(B1) 申请公布日期 2005.08.30
申请号 KR20030048079 申请日期 2003.07.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/8242;H01L21/8234;H01L27/108;H01L29/423;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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