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发明名称
INTEGRATION METHOD OF A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A RECESSED GATE ELECTRODE
摘要
申请公布号
KR100511045(B1)
申请公布日期
2005.08.30
申请号
KR20030048079
申请日期
2003.07.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L21/8242;H01L21/8234;H01L27/108;H01L29/423;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/336
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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