| 发明名称 |
REDUCING STRESS IN COATING PRODUCED BY PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG113571(A1) |
申请公布日期 |
2005.08.29 |
| 申请号 |
SG20050000258 |
申请日期 |
2005.01.19 |
| 申请人 |
NANOFILM TECHNOLOGIES INTERNATIONAL PTE LTD |
发明人 |
XU SHI;LI KANG, CHEAH |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/34;C23C16/02;C23C16/06;C23C16/26;C23C16/513;C23C16/52;H05H1/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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