| 发明名称 |
HE TREATMENT TO IMPROVE LOW-K ADHESION PROPERTY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG113539(A1) |
申请公布日期 |
2005.08.29 |
| 申请号 |
SG20040007859 |
申请日期 |
2004.12.30 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. |
发明人 |
LU WEI;LUONA GOH LOH NAH;JOHN SUDIJONO |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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