| 发明名称 |
ELECTROSTATIC MICROACTUATOR WITH ELECTRICALLY ISOLATED MOVABLE PORTION AND ASSOCIATED DRIVE CIRCUITRY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG113498(A1) |
申请公布日期 |
2005.08.29 |
| 申请号 |
SG20040000652 |
申请日期 |
2004.02.12 |
| 申请人 |
HITACHI GLOBAL STORAGE TECHNOLOGIES NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
TOSHIKI HIRANO;HENRY HUNG YANG |
| 分类号 |
G11B5/596;G11B5/55;G11B21/10;G11B21/21;H02N1/00;(IPC1-7):G11B5/55 |
主分类号 |
G11B5/596 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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