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发明名称
Photosensitive polymer including copolymer of adamantylalkyl vinyl ether and resist composition comprising the same
摘要
申请公布号
KR100510488(B1)
申请公布日期
2005.08.26
申请号
KR20020034998
申请日期
2002.06.21
申请人
发明人
分类号
G03F7/004;G03F7/039;C08F216/14;C08F216/16;C08F220/10;C08F222/06;C08F232/04;G03F7/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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