发明名称 Photosensitive polymer including copolymer of adamantylalkyl vinyl ether and resist composition comprising the same
摘要
申请公布号 KR100510488(B1) 申请公布日期 2005.08.26
申请号 KR20020034998 申请日期 2002.06.21
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;G03F7/039;C08F216/14;C08F216/16;C08F220/10;C08F222/06;C08F232/04;G03F7/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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