发明名称 PRODUCTION METHOD OF (100) GAAS WAFERS FROM (111) GROWN-INGOTS
摘要
申请公布号 KR20050083273(A) 申请公布日期 2005.08.26
申请号 KR20040011739 申请日期 2004.02.23
申请人 NEOSEMITECH INC. 发明人 OH, MYUNG HWAN;SONG, JOON SUK;CHANG, DONG HWAN
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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