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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur Ionenerzeugung in einer Ionenimplantierungseinrichtung
摘要
申请公布号
DE69733733(D1)
申请公布日期
2005.08.25
申请号
DE19976033733
申请日期
1997.05.29
申请人
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人
BENVENISTE, VICTOR MAURICE;CRISTOFORO, MICHAEL PAUL
分类号
H05H1/46;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/16
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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