发明名称 Integrierte Mikrostrukturen aus Halbleitermaterial und ein Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE69632950(T2) 申请公布日期 2005.08.25
申请号 DE19966032950T 申请日期 1996.07.31
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA 发明人 FORONI, MARIO;FERRARI, PAOLO;VIGNA, BENEDETTO;VILLA, FLAVIO
分类号 G01L1/18;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L9/00;G01P15/02;G01P15/08;H01L21/306;H01L21/764;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/762 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
主权项
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