用于工艺舱套件的净化室运输封装

摘要

本实用新型提供了一种净化室运输封装，对运输具有许多有不同形状的舱元件的工艺舱套件是有用的。所述封装包括具有第一壁架和从第一壁架向外延伸的多个第一槽的第一刚性盘，第一壁架具有第一边，第一刚性盘可拆卸地装配到第二刚性盘，第二盘具有从第二壁架向外延伸的多个第二槽。第二盘具有第二边，其和第一盘的第一边耦合而在其间形成密封。具有不同内表面轮廓的多个适形单元由相面对的成对第一和第二槽形成，这样每个适形单元的内表面轮廓适形于套件的不同舱元件之一的外表面轮廓，使得在运输期间所述舱元件在其适形单元中的移动最小。还可通过盘的基本透明部分来观察所述工艺舱套件的每个舱元件的状态。

主权项

1.一种用于工艺舱套件的净化室运输封装，所述工艺舱套件具有多个不同形状的舱元件，其特征在于，所述封装包括：(a)第一刚性盘，具有：具有第一边的第一壁架；和从所述第一壁架向外延伸的多个第一槽；(b)第二刚性盘，可从所述第一盘拆卸，所述第二盘具有：具有第二边的第二壁架，所述第二边和所述第一壁架的所述第一边耦合而在其间形成密封；和从所述第二壁架向外延伸的多个第二槽，其中具有不同内表面轮廓的多个适形单元由相面对的成对第一和第二槽形成，每个适形单元的内表面轮廓匹配于舱元件的外表面轮廓，使得在运输期间所述舱元件在其适形单元中的移动最小，并且其中所述第一或第二盘的至少一部分是基本透明的，使得可通过所述基本透明部分来观察所述工艺舱套件的每个舱元件的状态。