电子发射设备及其制造方法

摘要

提供了一种电场发射型电子发射设备，利用它电子束的斑点较小，电子发射区域较大，可能以低电压实现高效电子发射，并且制造过程容易。所述电子发射设备包括一个层2，它电连接到一个阴极电极5，以及多个粒子3，每个粒子包含一种材料，该材料的电阻系数低于组成层2的一种材料的电阻系数，并且其中层2中的粒子3的密度大于或等于1×10¹⁴/cm³并且小于或等于5×10¹⁸/cm³。

主权项

1.一种电子发射设备，包括：一个阴极电极；电连接到所述阴极电极的一层；以及多个粒子，每个粒子包含一种材料作为一个主要成分，所述材料的电阻系数低于所述层的材料的电阻系数，其中所述的多个粒子被安排在所述层上；并且所述层中的粒子的密度大于或等于1×1014/cm3并且小于或等于5×1018/cm3。